История проекта циклоалифатической эпоксидной смолы для фоторезиста Arf новых материалов Tetra

Восьмилетние усилия с большим успехом, высококачественные материалы для достижения мечты

Существует циклоалифатический эпоксидный мономер (метил) акрилового типа с годовым объемом продаж менее 200 т, но он был включен в категорию материалов «узкого места», которые необходимо срочно рассмотреть в Руководстве по демонстрации первых пакетных применений ключевых новых материалов (издание 2019 года и издание 2021 года). Министерством промышленности и информационных технологий, поскольку он является одним из наиболее широко используемых мономеров в мировой цепочке фоторезистов ArF.

Фоторезист, также известный как светочувствительный резист, представляет собой среду, используемую для переноса рисунка посредством фотохимических реакций. Это тип тонких химикатов, характеризующихся различными сортами, разнообразными свойствами и широким применением. В основном используется для тонкой обработки интегральных схем и дискретных полупроводниковых устройств в электронной промышленности, фоторезист предназначен для передачи тонких рисунков, необходимых от маски, на подложку, которую необходимо обработать путем воздействия и развития в рамках фотохимической реакции, а затем для травления, диффузии, ионной имплантации и процесса металлизации. Таким образом, это ключевой основной химический материал в электронной промышленности.

Прогресс электронной промышленности тесно связан с развитием фоторезиста. Если в руках не будет основной технологии полупроводникового фоторезиста, индустрия интегральных схем в Китае по-прежнему будет ограничена, даже если будет сделан какой-либо прорыв в машине для фототравления. В настоящее время более 90% доли рынка полупроводниковых фоторезистов заняты предприятиями в Японии, Корее и Соединенных Штатах, основными производителями которых являются JSR, TOK, Fuji Electronics, Shin-Etsu и Sumitomo Chemical в Японии, а также Dow Chemical в США. Хотя отечественный фоторезист был разработан в последние годы, он может только стремиться к прорывам на рынках высокого класса, особенно в области фоторезиста Arf. Поскольку в основном основные процессы производства сырья осваиваются зарубежными предприятиями, этот барьер также затрудняет для отечественных производителей разработку высококачественной продукции.

В конце 2015 года известное иностранное предприятие фоторезистов выдвинуло предложение о том, что «на рынке существует циклоалифатический эпоксидный мономер акрилового типа, на который приходится большая доля в их системе формул фоторезиста, но только одно японское предприятие может поставлять такой продукт оптом. Таким образом, они могут столкнуться с риском исчерпания запасов в любое время., и предприятие пригласило Tetra предоставить такой вид продукции в силу технического накопления в областиЦиклоалифатические эпоксидные смолы». Столкнувшись с такими новыми рыночными возможностями, Tetra New Materials учредила специальную команду для проекта фоторезиста (Внутренний код проекта PR-001), в которой генеральный менеджер является руководителем команды, а технический директор-руководителем проекта. Команда проекта состояла из талантливых профессионалов в области разработки процессов, анализа НИОКР, технологических процессов, инженерных технологий, развития производства и цепочки поставок для совместного решения проблем в ключевых технологиях.

Групповое фото проектной команды

Основываясь на общем графике «два года для лабораторного производства, два года для опытного производства и три года для массового производства», команда разработчиков процесса провела более 1000 испытаний в лаборатории за более чем 600 дней, решила проблемы выбора маршрута процесса, индексы сырья и вспомогательных материалов и промежуточных продуктов, скрининг катализатора, Скрининг ингибиторов, полимеризация продукта в процессе дистилляции, пожелтение продукта, анализ полимера и других примесей (ключевая примесь <0,1%; требуется необнаруженный полимер), чрезмерный ингибитор, чрезмерная вязкость (≤ 15 спс) и избыточные ионы металлов (содержание 12 видов ионов металлов ≤ 50ppb) И, наконец, предоставили заказчикам пять партий лабораторных расширенных образцов в 2017 году и прошли лабораторные испытания заказчика в начале 2018 года.

Команда разработки процесса Изучение параметров выпрямления	Группа анализа R & D оценивает качество продукции

После прохождения лабораторных испытаний члены команды были очень поощрены и провели 100 кг пилотных испытаний для продукта. Почти за два года они решали различные вопросы в ходе опытно-промышленных испытаний, внедрили технологии азеотропной дистилляции и мембранной сепарации для достижения различных технических показателей лабораторных испытаний и плавно прошли опытно-промышленные испытания заказчика в 2019 году. В силу прочной основы этапа опытного испытания, продукты были выведены стабилизированно в базе Taixing в Цзянсу с 2021 и также прошли проверку производственной линии клиента. В 2022 году пробное производство таких продуктов было запущено на базе Dongying в Шаньдуне, и образцы отправляются клиентам для проверки.

Параметры прибора отладки пилотного производственного персонала	Технический инженер Моделирование нисходящих приложений

Реализация этого проекта не только обогатила категории продуктов Tetra New Materials, но и еще больше усилила проектную команду и накопила много технологических достижений и ноу-хау. Мы последовательно получили 3 патента на изобретение, 8 патентов на полезные модели и успешно подали заявку на провинциальные/муниципальные специальные фонды для коммерциализации основных научных и технических достижений.

ТТА 153 4 эпоксициклогексилметил метакрилатИ TTA16Акрилатные эфиры оптомЭто первые два продукта в области полупроводниковых фоторезисторов, инвестированные Tetra. Поскольку наиболее важные полимерные материалы в фоторезисте обычно синтезируются независимо различными производителями, основная конкурентоспособность продуктов сильно связана с обилием исходного сырья и уровнем технологии синтеза. Поэтому поиск первичного сырья является первым шагом к преодолению материальной блокады иностранных производителей. По сравнению с аналогичными сортами, TTA15 и TTA16 имеют не только значительно повышенную стойкость к тепловому старению, но и обладают отличной реакционной способностью, которые являются важным дополнением ключевых свойств синтетических материалов, а также заполняют пробел в локализации такого рода сырья.

Tetra New Materials всегда стремится к локализации основных циклоалифатических эпоксидных материалов при разработке фоторезистов и будет продолжать вносить свой вклад в рост промышленности IC в Китае.

О Тетра

Tetra позиционирует себя в области высококачественных эпоксидных материалов с момента своего создания, стремясь стать поставщиком идеальных решений с международным первоклассным брендом в индустрии новых материалов. После более чем 10-летнего развития компания успешно преодолела техническую блокаду иностранных предприятий в этой области, реализовала локализованную замену различных циклоалифатических эпоксидных мономеров и сформировала ряд технических систем с независимыми правами интеллектуальной собственности. В настоящее время компания владеет более чем шестьюдесятью патентами. В дополнение к полному удовлетворению потребностей традиционных отраслей промышленности в стране и за рубежом, эти продукты также широко используются в новых областях, таких как УФ-отверждаемые покрытия/чернила, композитные материалы, клеи, электронная и электрическая изоляция, полупроводниковые упаковочные материалы, 3D-печать аддитивное производство и т. Д.

В настоящее время компания имеет высококачественную управленческую команду, состоящую из профессионалов, занимающихся исследованиями и разработками и технологическими приложениями в области новых материалов. Мы создали инженерный технологический центр эпоксидной смолы и сервисный центр прикладных технологий, оснащенный полной технологической цепочкой, включая лабораторию для лабораторных испытаний, лабораторию безопасности, испытательную лабораторию для расширения килограммовых весов, пилотное устройство преобразования и т. Д. Руководствуясь философией работы «Интернационализация, Техникализация и экологизация», Компания приняла Точное и профессиональное управление, инновации и предпринимательство в качестве духовной мотивации и программы действий для корпоративного развития, чтобы повысить основную конкурентоспособность, обусловленную организацией, технологиями, стоимостью и качеством, обслуживать клиентов, конкурировать и изменять бизнес-цели и стремиться создать максимальную ценность для клиентов.

В целях повышения корпоративной социальной ответственности Компания придает большое значение охране окружающей среды, продвижению чистящего производства и прохождению сертификации системы экологического менеджмента ISO14001; Кроме того, Компания всегда придерживалась политики безопасности производства «Максимальная безопасность, предотвращение прежде всего, комплексное управление, Полное участие и непрерывное совершенствование» и прошел сертификацию OHSASI 18001 и безопасности производства стандартизации.

В последние годы компания продолжает укреплять разработку новых продуктов и технологий и стремится создать китайский эталон для применения новых химических материалов и руководящих внутренних требований, чтобы подтолкнуть модернизациюСпециальные эпоксидные смолыПромышленности в Китае.